全自动偏光应力仪测量原理

全自动偏光应力仪测量原理：

测量方法采用固定圆偏光板，旋转检偏镜的方法。

光线经过直线偏光+1/4波长板变成圆偏振光，放置有应力的样品，双折射的慢轴快轴间产生光程差，变成椭圆偏振光。然后旋转检偏镜，椭圆偏振光内，偏振光透射轴和平行光以直线偏振光方式通过。此时可以看到通过检偏镜的光强度依据光程差和慢轴方向随着检偏镜角度变化有所变化。全自动应力仪测量一次预定的四个角度有相机拍照，从各个角度的光强度得出偏振光状态（精圆率和椭圆斜度）。然后，检测是否放置样品，从各个偏光状态的不同，算出光程差的大小和慢轴方向。